超薄切割片自然是按照切割片的厚薄分出來的類別,而超薄切割片一般的固化樹脂方式有兩種:熱固化樹脂和光固化樹脂,但是目前隨著技術的進步,光固化逐漸開始取代熱固化。
光固化樹脂是光交聯性聚合物,引發劑以及添加劑組成。它和熱固化樹脂最本質的區別在于其固化的過程是靠吸收相應波長的光輻射而引起的化學反應,使光固化樹脂從液體轉變為固體。它從液體轉變為固體是分子量增加的結果,而不是溶劑揮發所造成的,故具有快速固化、無污染、節省能源的優點,但制約因素是其原材料價格較高。運用光固化樹脂法制造超薄切割片方面,我國利用光固化樹脂作為結合劑研制成功厚度為0.15mm的超薄型金剛石切割砂輪,并成功地完成了對單晶硅片的切割試驗。
從上面可以看出光固化樹脂法在很多方面明顯優于熱固化樹脂法,這也是它逐漸取代熱固化樹脂法的原因。
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